Mikro- & Nanotechnologie

Die Kombination aus Mikromechanik und Mikroelektronik in Mikrosystemen (MEMS) bedingt bei vielen Sensoren und Aktuatoren ähnliche Technologien und Prozessstufen, wie sie in Halbleitergeräten verwendet werden.

Darum sind unsere Anlagen und Prozesse auf dem MEMS-Markt weit verbreitet. Besondere Anforderungen, wie z.B. verschiedene Wafer-Größen, dünnere oder dickere Substrate, wie gewöhnlich in der Standard-Halbleiterindustrie angewendet, und kleinere Batch-Größen werden von unseren MiniBatch-Horizontalanlagen E 1200 gut erfüllt.

Des Weiteren konzentrieren wir uns auf neue Prozesse der Nanotechnologie wie der Herstellung von Schichten und Verarbeitung von Carbon Nano Tubes bzw. unterschiedlichen Nanostrukturen (Nanodots, Nanowires, Nanobelts).