Technologie

Wir entwickeln Prozesse und High-Tech-Produktionsanlagen zur Herstellung von Halbleiter-Bauelementen. Zu unseren Kernkompetenzen gehören neben Prozess und Technik auch die Konstruktion und das Design unserer Produkte. Sie werden für eine Vielzahl von thermisch aktivierten Prozessen in verschiedenen Technologien und Anwendungen (z.B. Leistungshalbleiter, LED, Mikromechanik - MEMS, Sensortechnik) eingesetzt.

Zu unserer Expertise gehören u.a. folgende Technologien:

• Siliziumbasierte Halbleiterproduktion mit Waferdurchmessern bis 300 mm
• Verbindungshalbleiter mit Waferdurchmessern bis 150 mm sowie für untypische Formen und Größen von Waferstücken
• Herstellung von Produkten der Mikromechanik (MEMS)
• F&E für siliziumbasierte Halbleiterproduktion
• F&E für fortgeschrittene Nanotechnologien (NEMS, CNT)
• Packaging mittels Löttechnologie