VLO 6 & VLO 12
Vakuumlötofen für Advanced Packaging sowie Forschung und Entwicklung
Die centrotherm Vakuumlötofen VLO 6 und VLO 12 wurden für Leistungshalbleiter und Advanced Packaging-Anwendungen entwickelt und verfügen über hohe Aufheiz- und Abkühlraten. Damit erfüllen sie höchsten Anforderungen als Einstiegsofen oder Laborausführung für lunkerfreie Vakuumlötprozesse.
VLO 6 / VLO 12 ist mit einem Kammervolumen von 6 bzw. 12 Litern das Einstiegssystem der centrotherm VLO-Serie mit derselben Funktionsvielfalt. Mit dem VLO 6 | VLO 12 erhält man auf der Lötstelle eine relative Lunkerfreiheit von weniger als 2 % auf die Fläche bezogen. Andere Reflowöfen liegen bei bis zu 20 %.
Die Vakuumlötöfen eignen sich hervorragend für Fertigungseinrichtungen und Einsteiger im Bereich des flussmittel- und lunkerfreien Lötens mit verschiedenen Prozessgasen (N2, H2 100, N2/H2 95/5). Optional ist sowohl die nasschemische (HCOOH) als auch die trockenchemische (in-situ MW-Plasma) Aktivierung für ultrareine Lötstellen. Die Verwendung von bleifreien und bleihaltigen Pasten und Lötformteilen ohne Flussmittel ist ebenfalls möglich.
Die centrotherm Central Machine Control (CMC) Steuerungssoftware bietet mit einem bedienerfreundlichen Touch-Screen einfache Handhabung, Prozessrückverfolgung und Rezeptverwaltung. Eine serielle Schnittstelle erlaubt den Datentransfer für Offline-Programmierung und Remotebetrieb.
- Prozesstemperaturen bis 450°C
- hohe Temperaturstabilität
- Aufheizrate bis zu 250 K/min
- Abkühlrate bis zu 180 K/min
- Vakuum von bis zu 10-5 mbar
- sehr kurze Taktzeit: unter 5 Minuten
Prozesse
- Advanced Packaging
- Power Semiconductors
- Sealing
- Soldering
Hinweis: Die centrotherm photovoltaics AG behält sich das Recht vor, die angegebenen Produktspezifikationen jederzeit und ohne Ankündigung zu ändern.
Papers
Vacuum soldering with hydrogen
Plasma supported soldering processes (RF, MW-Plasma)
Vacuum soldering with H2O Plasma
Vacuum soldering using formic acid
