E 2000

Speziell zur Serienproduktion konzipiert zeichnet sich der centrotherm E 2000 durch eine hohe Prozessleistung, maximalen Durchsatz sowie niedrige Wartungskosten und eine kleine Stellfläche aus. Der Ofen verfügt über eine flexible Prozessfähigkeit und ist mit bis zu 4-Etagen-Quarz- oder SiC-Prozessrohren für Wafergrößen bis 300 mm ausgestattet.

• Geeignet für atmosphärische sowie PECVD- und LPCVD-Prozesse
• Prozessspezifische Kammeroptionen wählbar
• Fortschrittliches Wasser-Kühlsystem welches die gegenseitige Beeinflussung der anderen Prozessrohre vermeidet
• Automatisierte Boot-Beladung möglich
• Modularer Aufbau ermöglicht eine einfache Installation und Start-up-Phase

Prozesse

• Annealing
• Diffusion
• LPCVD
• Oxidation
• PECVD

Hinweis: Die centrotherm photovoltaics AG behält sich das Recht vor, die angegebenen Produktspezifikationen jederzeit und ohne Ankündigung zu ändern.

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