E 1550

Der centrotherm E 1550 Horizontalofen ist für die Produktion von Klein- und Mittelserien bei hoher Prozessflexibilität und –leistung geeignet. Der Ofen ist mit bis zu 4-Etagen-Quarz- oder SiC-Prozessrohren für Wafergrößen bis 300 mm ausgestattet. Mit seinen niedrigen Wartungs- und Betriebskosten und der kleinen Stellfläche eröffnet der E 1550 sehr gute Möglichkeiten zur kosteneffizienten Produktion.

• Geeignet für atmosphärische sowie PECVD- und LPCVD-Prozesse
• Prozessspezifische Kammeroptionen in 3- oder 4-Etagen-Ausführung wählbar
• Fortschrittliches Wasser-Kühlsystem, das die gegenseitige Beeinflussung der anderen Prozessrohre vermeidet
• Automatisierte Boot-Beladung möglich
• Modularer Aufbau ermöglicht eine einfache Installation und Start-up-Phase

Prozesse

• Annealing
• Diffusion
• LPCVD
• Oxidation
• PECVD

Hinweis: Die centrotherm photovoltaics AG behält sich das Recht vor, die angegebenen Produktspezifikationen jederzeit und ohne Ankündigung zu ändern.