E 1200
Horizontalofen für Forschung und Entwicklung
Die F&E-Ausführung unserer Horizontalöfen wurde speziell für die kleinvolumige Produktion entwickelt und gewährleistet dabei hochqualitative Prozesswerte sowie ein hohes Maß an Prozessflexibilität. Durch die minimale Stellfläche sowie die niedrigen Wartungs- und Betriebskosten eignet sich der E 1200 bestens als hocheffiziente Laboranlage.
- Geeignet für atmosphärische sowie PECVD- und LPCVD-Prozesse
- Prozessspezifische Kammeroptionen in 3- oder 4-Etagen-Ausführung wählbar
- Fortschrittliches Wasser-Kühlsystem, das die gegenseitige Beeinflussung der anderen Prozessrohre vermeidet
- Automatisierte Boot-Beladung möglich
- Modularer Aufbau ermöglicht eine einfache Installation und Start-up-Phase
Prozesse
- Annealing
- Diffusion
- LPCVD
- Oxidation
- PECVD
Hinweis: Die centrotherm photovoltaics AG behält sich das Recht vor, die angegebenen Produktspezifikationen jederzeit und ohne Ankündigung zu ändern.
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